九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門

ナノ集積システム工学講座

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講座の概要
エレクトロニクスの急激な進歩は,産業・経済活動の基礎となる科学技術の活性化に,これまで常に先導的役割を果たしてきた.その中で,シリコン半導体素子とその集積化の技術は,一貫してエレクトロニクスの隆盛を支える基盤であった。しかし,情報技術の多様化に伴い,電子デバイスに要求される機能もまた多様化する傾向にある.
ナノ集積システム工学講座は,材料科学,物性工学,ナノメータ領域のプロセス技術などの分野を基盤として,次世代のエレクトロニクスを支える各種の先端的な電子デバイスの研究開発を行う。また、マイクロエレクトロニクスとその新分野開拓にかかわる総合的な教育研究も担当する.
主な研究分野
半導体集積回路,集積システムCAD,量子化電子デバイス,真空マイクロエレクトロニクス,超薄膜,超格子,表面・界面制御,プラズマプロセス,光プロセス,マイクロビーム加工,ナノメータ加工制御,原子マニュピュレーション,マイクロエレクトロメカニカルシステム
研究グループ

wwwwg@ed.kyushu-u.ac.jp