エレクトロニクスの急激な進歩は，産業・経済活動の基礎となる科学技術の活性化の先導的な役割を果たしてきた．その中で，シリコン半導体素子とその高集積化の技術は，一貫して情報エレクトロニクスの隆盛を支える基盤であった．しかし，インフォメーションテクノロジーの多様化に伴い，電子デバイスに要求される機能もまた多様化している．本部門は材料科学，物性工学，ナノメータ領域のプロセス技術などを基盤として，次世代のエレクトロニクスを支える各種の先端的な電子デバイスの開発を目指し，マイクロエレクトロニクスとその新分野開拓にかかわる総合的な教育研究を担当する．
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